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      LDW350

      ? ? ??LDW350直寫光刻機基于先進的DLP數字光刻技術,采用高精度的精密運動系統、光學系統、微環境控制系統,同時具備實時聚焦、自動居中對位等功能,可滿足130nm節點的制版需求。
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      1.產品描述

       

            LDW350直寫光刻機基于先進的DLP數字光刻技術,采用高精度的精密運動系統、光學系統、微環境控制系統,同時具備實時聚焦、自動居中對位等功能,可滿足130nm節點的制版需求。

       

      2.產品特點

       

         •  自動巡邊居中曝光

       

         •  高解析度:350nm

       

         •  腔內溫度波動小于0.03℃

       

         •  375nm LD光源

       

         •  多種數據輸入格式(GDSⅡ/Gerber/ODB++)

       

      3.技術規格

      設備型號 LDW350
      支持基板尺寸 4/5/6/7inch
      分辨率 350nm
      網格精度 10nm
      圖形位置精度 80nm
      套刻精度 150nm
      線寬均勻性[3σ] 30nm
      產能 280mm2/min
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