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        LDW-D1

        一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可 實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于 平板顯示、先進封裝等微納加工領域。
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        1.產品描述

         

               一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于平板顯示、先進封裝等微納加工領域。

         

        2.產品特點

         

           •  網格精度:200nm

         

           •  最小線寬:700nm

         

           •  基本尺寸:12inch(可拓展)

         

           •  曝邊:選配

         

           •  智能化:自動打碼、讀碼、對接MES系統

         

           •  支持格式:GDSII/ODB++/Gerber

         

        3.技術規格

         

         

        設備型號 LDW-D1
        支持基板尺寸[inch]
        300x300
        最小線寬[nm]
        700
        套刻精度[3σ,nm]
        400
        產能[ mm² /min] 3000
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