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      MAS6直接成像系列

      MAS6是業界領先的直接成像解決方案,適用于IC封裝載板如FCBGA和FCCSP等,搭配高劑量封裝常用干膜可實現高產能。 該系統采用DMD技術,通過高達0.35μm的資料解析度,實現6μm精細線路的線寬一致性,在保證最佳品質的同時,可降低整體運行成本。
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      1.產品描述

      MAS6是業界領先的直接成像解決方案,適用于IC封裝載板如FCBGA和FCCSP等,搭配高劑量封裝常用干膜可實現高產能。 該系統采用DMD技術,通過高達0.35μm的資料解析度,實現6μm精細線路的線寬一致性,在保證最佳品質的同時,可降低整體運行成本。

       

      2.產品特點

      業界領先的直接成像系統

      • 基于DMD掃描光刻方案,搭載高性能數據處理技術與CFMEE專業光學鏡組,無需底片,直接曝光,可節約成本,縮短流程,提升良率。
      • 高功率LD激光配合高效率光路設計,在提供最高產速的同時,可靈活搭配各類感光材料。

       

      高成像品質與高產能

      • 高解析及高性能光學系統, 實現精細線路的高成像品質與高產能。
      • 高景深:采用經市場驗證的CFMEE專業的光學設計,可帶來優異的高景深,應對各種表面高度不均的板材, 實現最佳的曝光成像品質。

       

      對位精度與漲縮模式

      • 搭載高精度移動平臺與CCD靶點識別系統,對位精度高至±5μm。
      • 漲縮功能:自動漲縮、固定漲縮、分段漲縮、分區漲縮、智能漲縮及其他高階漲縮模式,并在對位過程中對異常板材自動預警或拒曝,增強品質管控,提升良率。
      • 拼板曝光:可根據基板尺寸大小,一次性曝光多塊,極大的提升產能。
      • 對位能力:系統自動高速抓靶對位,可支持各類對位靶點,亦可針對異常靶點使用擬合功能,保證對位精度的同時提升產能。

       

      產品追溯

      • 在任意指定位置,曝光生成文字或二維碼,用于板件追溯。
      • 支持靜態及動態stamp標簽,如時間、日期、序列號、設備號,漲縮值以及各類組合序列號等。

       

      智能制造

      • CFMEE DI產品具備智能制造的相關硬件及軟件功能,實現高度自動化以及智能化生產。
      • 專業的軟件開發團隊,可支持各類工業通訊協議,實現與MES制造執行系統的無縫連接。

       

      3.技術規格

       

       

      設備型號 MAS6
      最高產能
      72面/小時
      資料解析度[μm]
      0.35
      最小線寬/線距*[μm]
      6/6
      景深*[μm]
      ±30&200(AF)
      線寬均勻性[μm]
      ±10%
      最大曝光面積 24"x24"
      對位精度**[μm] ±5
      層間對位精度**[μm] 10

      *顯影后,最小線寬/線距與景深取決于感光材料特性及制程。

      **對位精度值為3 sigma。

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