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      產品中心

      SRD系列
      SRD系列產品是具有高精度解析、高精度對位的光伏直接成像研發平臺,適用于高效太陽能電池圖形化研發應用。
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      SDI系列
      SDI系列產品是業界領先的光伏直接成像解決方案,適用于光伏太陽能電池高精度圖形化工藝領域。
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      LDW500
      LDW500直寫光刻機基于先進的DLP數字光刻技術,采用高精度的精密運動系統、光學系統、微環境控制系統,同時具備實時聚焦、自動居中對位等功能,可滿足制版及器件直寫要求。
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      LDW350
      ? ? ??LDW350直寫光刻機基于先進的DLP數字光刻技術,采用高精度的精密運動系統、光學系統、微環境控制系統,同時具備實時聚焦、自動居中對位等功能,可滿足130nm節點的制版需求。
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      MLF系列
      ? ? MLF系列光刻機結構緊湊,景深大、速度快,適用于功率器件、陶瓷封裝等領域,對干膜和光刻膠均有良好的工藝適應性,是一款經濟、靈活的量產設備。
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      MLC600
      MLC600直寫光刻機是由合肥芯碁微電子裝備股份有限公司自主研發生產的一款精巧型光刻產品,其功能靈活、體積小、性價比高,專為世界各大高校及研究所量身打造。
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      WLP2000
      WLP2000直寫光刻機采用最先進的數字光刻技術,無需掩模板,可直接將版圖信息轉移到涂有光刻膠的襯底上,主要應用于8inch/12inch集成電路先進封裝領域,包括Flip Chip、Fan-In WLP、 Fan-Out WLP和2.5D/3D等先進封裝形式。該系統采用多光學引擎并行掃描技術,具備自動套刻、背部對準、智能糾偏、WEE/WEP功能,在RDL、Bumping和TSV等制程工藝中優勢明顯。
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      LDW-D1
      一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可 實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于 平板顯示、先進封裝等微納加工領域。
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      MAS15直接成像系列
      MAS15是業界領先的適用于HDI、高階HDI和SLP量產的直接成像DI系統,搭配高劑量干膜實現高產能。 該系統采用DMD技術,通過高精度的資料解析能力,實現精細線路優異的線寬一致性和邊緣粗糙度,在保證最佳品質的同時,可降低整體運行成本。
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      MAS12直接成像系列
      MAS12是業界領先的適用于HDI、高階HDI和SLP量產的直接成像DI系統,搭配高劑量干膜實現高產能。 該系統采用DMD技術,通過高精度的資料解析能力,實現精細線路優異的線寬一致性和邊緣粗糙度,在保證最佳品質的同時,可降低整體運行成本。
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      MAS8直接成像系列
      MAS8是業界領先的直接成像解決方案,適用于IC封裝載板如FCBGA和FCCSP等,搭配高劑量封裝常用干膜可實現高產能。 該系統采用DMD技術,通過高達0.35μm的資料解析度,實現6μm精細線路的線寬一致性,在保證最佳品質的同時,可降低整體運行成本。
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      MAS6直接成像系列
      MAS6是業界領先的直接成像解決方案,適用于IC封裝載板如FCBGA和FCCSP等,搭配高劑量封裝常用干膜可實現高產能。 該系統采用DMD技術,通過高達0.35μm的資料解析度,實現6μm精細線路的線寬一致性,在保證最佳品質的同時,可降低整體運行成本。
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