2023年4月，芯碁微裝太陽能電池光刻設備量產機型（SDI-15H）成功發運光伏龍頭企業。此次發貨的設備為2022年9月芯碁微裝太陽能電池光刻設備首機的升級機型，適用于高效太陽能電池光刻圖形化工藝的量產應用。

SDI-15H太陽能電池光刻設備在諸如異質結電池（HJT）銅電鍍、XBC太陽能電池等新型光伏電池工藝中具有廣闊的應用前景。芯碁微裝直寫光刻技術為光伏行業降本增效、解決高效太陽能電池產業化痛點問題提供了一種新型的高精度低成本圖形化解決方案。

芯碁微裝SDI-15H型太陽能電池光刻設備采用先進數字光刻技術，無需掩模版，可直接將復雜高精圖案轉移至太陽能電池表面，是直寫光刻圖形化技術在光伏領域的量產首創應用。SDI-15H太陽能電池直寫光刻系統采用多光學引擎并行掃描技術，具備高精度解析（15μm+），高精度圖案對位（＜10μm），高速加工能力（單軌道≥6000半片/小時）等優異性能，且加工過程具有無接觸無污染、無激光損傷、無掩模版耗用等優勢。

在“碳中和”成為全球共識，綠色可再生能源漸漸成為世界未來能源主流的背景下，大力發展光伏綠色能源是實現人類能源可持續發展的重要途徑。芯碁微裝緊握時代發展脈搏，將不斷推進直寫光刻技術在綠色能源領域的廣泛應用，實現“IC裝備 世界品牌”的企業愿景。